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• 1、光谱椭偏仪

光谱椭偏仪

1、椭偏仪的光谱范围广泛，涵盖深紫外区的142纳米至红外区的33微米。选择哪种光谱范围，取决于被测材料的特性。例如，如果材料的掺杂浓度对其红外光学性质有重大影响，那么就需要选择能够测量红外波段的椭偏仪。

2、光谱椭偏仪的构造因其测量需求而有所不同，但核心目标是测量样品反射后光的偏振状态变化量ρ。一种常见配置是通过旋转起偏器和固定检偏器，起偏器用于设定初始偏振状态，检偏器则用来测定输出光束的偏振状态。

3、椭偏仪的光谱范围在深紫外的142nm到红外33um可选。光谱范围的选择取决于被测材料的属性、薄膜厚度及关心的光谱段等因素。

4、系统设置问题。椭偏仪是一种用于检测薄膜厚度的光学测量仪器，中光增益越高测试精度越高的原因是系统设置问题。不同的硬件配置用于光谱椭偏仪的测量，但每种配置必须产生已知偏振的光束。

5、与 光谱椭偏仪相比，具有如下特点：对材料的光学常数的测量更精确：这是由激光的窄带单色性质决定的，激光带宽通常远小于1nm，因此能够更准确地获得激光波长下的材料的材料参数。可对动态过程进行快速测量：激光良好的方向性使得其强度非常高，因此非常适合对动态过程的实时测量。

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